真空环境使用压电平移台,真空环境使用压电平移台参数-北京赛凡光电仪器有限公司

真空环境使用压电平移台

产品型号：

产品特点：

压电马达驱动；无回程间隙，内具刹车功能；纳米级高分辨率及精度；毫秒至亚毫秒级快响应速度，速度可达300毫米／秒；长行程，理论上无行程限制；超薄设计，结构紧凑；无磁，无油，无电磁干扰，真空兼容；广泛应用于半导体设备、微纳加工、光电试验、生物医疗等领域。

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真空环境使用压电平移台

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特点：

    压电马达驱动；
    无回程间隙，内具刹车功能；
    纳米级高分辨率及精度；
    毫秒至亚毫秒级快响应速度，速度可达300毫米／秒；
    长行程，理论上无行程限制；
    超薄设计，结构紧凑；
    无磁，无油，无电磁干扰，真空兼容；
    广泛应用于半导体设备、微纳加工、光电试验、生物医疗等领域。

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