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    长行程压电平移台

    产品型号:

    产品特点:

    压电马达驱动; 无回程间隙,内具刹车功能; 纳米级高分辨率及精度; 毫秒至亚毫秒级快响应速度,速度可达300毫米/秒; 长行程,理论上无行程限制; 超薄设计,结构紧凑; 无磁,无油,无电磁干扰,真空兼容; 广泛应用于半导体设备、微纳加工、光电试验、生物医疗等领域。

    迷你型压电平移台


    特点:

        压电马达驱动;
        无回程间隙,内具刹车功能;
        纳米级高分辨率及精度;
        毫秒至亚毫秒级快响应速度,速度可达300毫米/秒;
        长行程,理论上无行程限制;
        超薄设计,结构紧凑;
        无磁,无油,无电磁干扰,真空兼容;
        广泛应用于半导体设备、微纳加工、光电试验、生物医疗等领域。






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